KOUZNETSOV V について
Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE について
MACAK K について
Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE について
SCHNEIDER J M について
Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE について
HELMERSSON U について
Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE について
PETROV I について
Univ. Illinois, IL, USA について
Surface & Coatings Technology について
マグネトロンスパッタリング について
薄膜成長技術・装置 について
ターゲット について
電力密度 について
パルス について
マグネトロンスパッタ法 について