文献

J-GLOBAL ID：200902111319279200   整理番号：99A0782711

MEMSのための新しい機能性セラミック堆積法

New Functional Ceramic Deposition Method for MEMS.

著者 (3件)： AKEDO J (S.I.S.T./M.I.T.I., Ibaraki, JPN) ,  ICHIKI M (S.I.S.T./M.I.T.I., Ibaraki, JPN) ,  MAEDA R (S.I.S.T./M.I.T.I., Ibaraki, JPN)
資料名： Ferroelectrics  (Ferroelectrics)
巻： 224  号： 1/4  ページ： 759-765  発行年： 1999年03月 
JST資料番号： D0777A  ISSN： 0015-0193  CODEN： FEROA8  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (3件)： MEMS ,  機能性セラミック ,  堆積