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J-GLOBAL ID:200902111540639777   整理番号:02A0200519

表面超音波リニアモータの駆動力の評価

Evaluation of the driving performance of a surface acoustic wave linear motor.
著者 (3件):
資料名:
巻: 2000  号: Vol.1  ページ: 675-679  発行年: 2000年 
JST資料番号: A0437C  ISSN: 1051-0117  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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標記モータは圧電性の基板にRayleighモードの表面超音波...
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