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J-GLOBAL ID：200902111961525533   整理番号：96A0963707

Fully Self-Aligned 6F² Cell Technology for Low Cost 1Gb DRAM.

著者 (6件)： AOKI M (Toshiba Corp., Kawasaki, JPN) ,  OZAKI T (Toshiba Corp., Kawasaki, JPN) ,  YAMADA T (Toshiba Corp., Kawasaki, JPN) ,  KAWAGUCHIYA H (Toshiba Corp., Kawasaki, JPN) ,  ISHIBASHI Y (Toshiba Corp., Kawasaki, JPN) ,  HAMAMOTO T (Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
資料名： Digest of Technical Papers. Symposium on VLSI Technology  (Digest of Technical Papers. Symposium on VLSI Technology)
巻： 1996  ページ： 22-23  発行年： 1996年 
JST資料番号： A0035B  ISSN： 0743-1562  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (1件)： DRAM