放電基礎過程とその応用  混合ガス中容量結合型RF放電の絶縁破壊特性

文献

J-GLOBAL ID：200902111969640013 整理番号：01A0595185

放電基礎過程とその応用混合ガス中容量結合型RF放電の絶縁破壊特性

Fundamental Processes of Gas Discharge and its Applications. Breakdown Characteristics of Capacitively Coupled RF Discharges in Gas Mixtures.

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巻： 121-A 号： 5 ページ： 422-428 発行年： 2001年05月01日
JST資料番号： S0808A ISSN： 0385-4205 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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気体放電

引用文献 (13件)：

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