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J-GLOBAL ID：200902112980882459 整理番号：00A0171443
傾斜構造RFスパッタ膜の製作と特性
Trial Manufacture of RF Sputtering Films with a Gradient Structure and their Characteristics.
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資料名：
鶴岡工業高等専門学校研究紀要 (Research Reports of Tsuruoka National College of Technical)
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号：
34
ページ：
13-21
発行年：
1999年11月19日
JST資料番号：
S0556A
ISSN：
0286-1232
資料種別：
逐次刊行物 (A)
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
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