文献
J-GLOBAL ID：200902144313445031   整理番号：95A0575600

Optical Proximity Correction, a First Look at Manufacturability.

著者 (5件)：
LIEBMANN L W

LIEBMANN L W について

(IBM Microelectronics, NY)

IBM Microelectronics, NY について

, 
GRENON B

GRENON B について

(IBM Microelectronics, VT)

IBM Microelectronics, VT について

, 
LAVIN M

LAVIN M について

(IBM Research Division, NY)

IBM Research Division, NY について

, 
SCHOMODY S

SCHOMODY S について

(IBM Microelectronics, VT)

IBM Microelectronics, VT について

, 
ZELL T

ZELL T について

(Siemens, NY)

Siemens, NY について


資料名：
Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)

Proceedings of SPIE について


巻： 2322  ページ： 229-238  発行年： 1994年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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