文献

J-GLOBAL ID：200902113110847395   整理番号：00A0431448

超LSI用薄膜生成プロセスのコンピュータシミュレーション (2) 3Dモデルによるシミュレーション

著者 (6件)： 国重雅之 (日本大 工) ,  菅原活郎 (日本大 工) ,  さい容基 (東大 大学院) ,  霜垣幸浩 (東大 大学院) ,  小宮山宏 (東大 大学院) ,  江頭靖幸 (大阪大 大学院)
資料名： 応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集  (応用物理学会東北支部学術講演会論文集)
巻： 54th  ページ： 193-194  発行年： 1999年12月09日 
JST資料番号： L1473A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： LSI ,  薄膜生成 ,  プロセス ,  コンピュータシミュレーション ,  3Dモデル ,  シミュレーション