Cuデュアルダマシン配線用高熱安定性プラズマ重合BCBポリマフィルム(k=2.6)

WAKAHARA J; SHIBA K; TAGAMI M; TADA M; SAITO S; HIROI M; FURUYA A; KIKUTA K; HAYASHI Y

文献

J-GLOBAL ID：200902113140947742 整理番号：00A0897528

Cuデュアルダマシン配線用高熱安定性プラズマ重合BCBポリマフィルム(k=2.6)

Highly Thermal-stable, Plasma-polymerized BCB Polymer Film(k=2.6) for Cu Dual-damascene Interconnects.

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巻： 2000 ページ： 20-21 発行年： 2000年
JST資料番号： A0035B ISSN： 0743-1562 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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