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J-GLOBAL ID：200902113383227497   整理番号：98A0808959

反応性真空アーク放電を用いたアナターゼ型結晶TiO₂膜のas-deposit生成

著者 (3件)： 笹岡毅志 (豊橋技科大) ,  滝川浩史 (豊橋技科大) ,  榊原建樹 (豊橋技科大)
資料名： 電気関係学会東海支部連合大会講演論文集  (Record of Tokai-Section Joint Conference of the Six Institute of Electrical and Related Engineers)
巻： 1996  ページ： 5  発行年： 1996年10月 
JST資料番号： L1634A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： 反応性 ,  真空アーク ,  放電 ,  アナターゼ型結晶 ,  TiO2