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J-GLOBAL ID：200902113631734813   整理番号：97A0953920

高電圧電子ビーム蒸発器上のアーク的なTi蒸気プラズマの特性評価

Characterization of arclike Ti vapor plasma on the high-voltage electron-beam evaporator.
著者 (1件)：
KAJIOKA H

KAJIOKA H について

(Western Hiroshima Prefecture Industrial Res. Inst., Kure, JPN)

Western Hiroshima Prefecture Industrial Res. Inst., Kure, JPN について


資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)

Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について


巻： 15  号： 5  ページ： 2728-2739  発行年： 1997年09月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
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