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J-GLOBAL ID：200902113907754988   整理番号：03A0122269

走査電子顕微鏡観察における像の分解能を評価するためのコントラスト-勾配法

Contrast-to-gradient method for the evaluation of image resolution in scanning electron microscopy.

著者 (2件)： ISHITANI T (Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki-ken, JPN) ,  SATO M (Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki-ken, JPN)
資料名： Journal of Electron Microscopy  (Journal of Electron Microscopy)
巻： 51  号： 6  ページ： 369-382  発行年： 2002年 
JST資料番号： G0104A  ISSN： 0022-0744  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 著者らが以前に開発したコントラスト-勾配(CG)法は局所分解...

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,...
準シソーラス用語： 調和平均

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分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

引用文献 (20件)：

• SATO, M. Resolution. Handbook of Charged Particle Optics. 1997, 319-361
• JOY, D C. Metrics of resolution and performance for CD-SEMs. Proc SPIE. 2000, 3998, 108-114
• UNITT, B M. A digital computer method for revealing directional information in images. J. Phys. E. 1975, 8, 423-425
• TEE, W J. An automatic focusing and stigmating system for the SEM. J. Phys. E. 1979, 12, 35-38
• ARCHIE, C. Modeling and experimental aspects of apparent beam width as an edge resolution measure. Proc of SPIE. 1999, 3677, 669-685

タイトルに関連する用語 (6件)： 走査電子顕微鏡観察 ,  像 ,  分解能 ,  評価 ,  コントラスト ,  勾配法