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J-GLOBAL ID：200902130785088339   整理番号：99A0795882

エッジ解像度測定としての見かけビーム幅のモデリングと実験的側面

Modeling and Experimental Aspects of Apparent Beam Width as an Edge Resolution Measure.

著者 (3件)： ARCHIE C (IBM Microelectronics, New York) ,  LOWNEY J (National Inst. Standards and Technol., Maryland) ,  POSTEK M T (National Inst. Standards and Technol., Maryland)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 3677  号： Pt.2  ページ： 669-685  発行年： 1999年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (5件)： エッジ ,  解像度 ,  ビーム幅 ,  モデリング ,  実験