ナノ技術のためのマイクロ加工されたツール  統合マイクロアクチュエータによる2組のナノプローブおよびナノスケール隙間制御

KAKUSHIMA K; MITA M; KOBAYASHI D; HASHIGUCHI G; ENDO J; WADA Y; FUJITA H

文献

J-GLOBAL ID：200902114366837121 整理番号：01A0426405

ナノ技術のためのマイクロ加工されたツール統合マイクロアクチュエータによる2組のナノプローブおよびナノスケール隙間制御

Micromachined Tools for Nano Technology. Twin Nano-Probes and Nano-Scale Gap Control by Integrated Microactuators.

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Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)

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巻： 14th ページ： 294-297 発行年： 2001年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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2組のナノプローブと熱膨張マイクロアクチュエータから成る新し...

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