特集 マイクロマシンと材料技術 形状記憶合金薄膜

文献

J-GLOBAL ID：200902115091625044 整理番号：93A0278540

特集マイクロマシンと材料技術形状記憶合金薄膜

Special issue : Micromachine and material technology.Shape memory alloy thin film.

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資料名：
巻： 63 号： 3 ページ： 9-13 発行年： 1993年03月
JST資料番号： F0157A ISSN： 0368-6337 CODEN： KNZKA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

マイクロマシン用の超小型駆動源として期待される静電駆動,圧電...

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その他の金属組織学 , 制御機器一般 , 金属薄膜

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