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J-GLOBAL ID：200902115787121512   整理番号：95A0269453

高周波マグネトロンスパッタリング法を用いたLa-Mn複合酸化物薄膜の作製と酸素センサ特性

Preparation of La-Mn Complex Oxide Films Using Radio Frequency Magnetron Sputtering and Oxygen Sensor Characteristics.

著者 (9件)： 山田智 (帝京大 理工) ,  堀茂徳 (帝京大 理工) ,  松本泰道 (熊本大 工) ,  倉富純一 (熊本大 工) ,  本坊寿吉 (熊本大 工) ,  白樫高史 (宇都宮大 工) ,  吉原佐知雄 (宇都宮大 工) ,  稔野宗次 (帝京大 理工) ,  佐藤栄一 (宇都宮大 工)
資料名： 電気化学および工業物理化学  (Electrochemistry)
巻： 63  号： 3  ページ： 205-211  発行年： 1995年03月 
JST資料番号： G0072A  ISSN： 1344-3542  CODEN： EECTFA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： Si(111),MgO(100)及びSiO<sub>2</s...

シソーラス用語： 酸素センサ ,...
準シソーラス用語： STM【顕微鏡】

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分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

引用文献 (21件)：

• 山田智. 電気化学. 1993, 61, 1011
• 山田智. 電気化学. 1994, 62, 246
• 道畑日出男. 電気化学. 1989, 57, 1010
• HAMMOUCHE, A. Mat. Res. Bull. 1989, 24, 367
• MATSUMOTO, Y. Electrochim. Acta. 1980, 25, 585

タイトルに関連する用語 (6件)： 高周波マグネトロンスパッタリング ,  LA ,  Mn ,  酸化物薄膜 ,  作製 ,  酸素センサ