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J-GLOBAL ID：200902115868776572   整理番号：97A0870837

低価格HARMSプロセス

Low-cost HARMS process.
著者 (3件)：
BISCHOFBERGER R

BISCHOFBERGER R について

(Neu-Technikum Buchs(NTB), Buchs, CHE)

Neu-Technikum Buchs(NTB), Buchs, CHE について

, 
ZIMMERMANN H

ZIMMERMANN H について

(Neu-Technikum Buchs(NTB), Buchs, CHE)

Neu-Technikum Buchs(NTB), Buchs, CHE について

, 
STAUFERT G

STAUFERT G について

(Neu-Technikum Buchs(NTB), Buchs, CHE)

Neu-Technikum Buchs(NTB), Buchs, CHE について


資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)

Sensors and Actuators. A. Physical について


巻： A61  号： 1/3  ページ： 392-399  発行年： 1997年06月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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微細加工システムの製造に適する低価格の高アスペクト比マイクロ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*マイクロマシニング

マイクロマシニング について

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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
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低価格

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プロセス

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