文献

J-GLOBAL ID：200902117188769159   整理番号：99A0948326

電場中でのイオン化前駆体の運動制御による薄膜形成

Film formation by motion control of ionized precursors in electric field.

著者 (8件)： ADACHI M (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  FUJIMOTO T (Hiroshima Univ., Hiroshima, JPN) ,  NAKASO K (Hiroshima Univ., Hiroshima, JPN) ,  OKUYAMA K (Hiroshima Univ., Hiroshima, JPN) ,  SHI F G (Univ. California, California) ,  SATO H (Hitachi Ltd., Tokyo, JPN) ,  ANDO T (Hitachi Ltd., Tokyo, JPN) ,  TOMIOKA H (Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 75  号： 13  ページ： 1973-1975  発行年： 1999年09月27日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： イオン化源分子をクーロン力により基板上にデポジットするイオン...

シソーラス用語： *化学蒸着 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=99A0948326&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=H0613A") }}

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電場 ,  イオン化 ,  前駆体 ,  運動制御 ,  薄膜形成