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J-GLOBAL ID：200902117596736455   整理番号：96A0867282

ICマイクロトランスデューサの将来

Future of IC microtransducers.
著者 (1件)：
BALTES H

BALTES H について

(ETH Zurich, Zurich, CHE)

ETH Zurich, Zurich, CHE について


資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)

Sensors and Actuators. A. Physical について


巻： 56  号： 1/2  ページ： 179-192  発行年： 1996年08月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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IC回路技術をマイクロマシニングと組合わせた微小電気機械統合...
シソーラス用語：
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センサ

センサ について

,...
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マイクロトランスジューサ

マイクロトランスジューサ について


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分類 (2件)：
分類
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計測機器一般 
(AD02000X)

計測機器一般 について

,  固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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IC

IC について

, 
マイクロ

マイクロ について

, 
トランスデューサ

トランスデューサ について


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