文献

J-GLOBAL ID：200902117662415886   整理番号：03A0028784

ダイオードサーミスタ付マイクロヒータの絶対湿度センサへの応用

Application of a Micro-Air-Bridge Heater with a Diode-Thermistor to Absolute-Humidity Sensor.

著者 (3件)： 藤原茂美 (東北学院大) ,  菊池和也 (東北学院大) ,  木村光照 (東北学院大)
資料名： 電気学会フィジカルセンサ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PHS-02  号： 16-30  ページ： 55-58  発行年： 2002年11月27日 
JST資料番号： L2897B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： Siマイクロマシン技術を用いて,マイクロエアブリッジ上にSi...

シソーラス用語： *湿度センサ ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=03A0028784&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=L2897B") }}

分類 (1件)： 湿度測定,湿度計  (AD06020V)

引用文献 (6件)：

• RITTERSMA, Z. M. Sensors and Actuators B : Chemical. 2000, 68, 210-217
• MATKO, W. Physical. 1997, 61, 331-334
• NGUYEN, Thi Thu Ha. Sensors and Actuators B : Chemical. 2000, 66, 200-202
• KIMURA, M. Sensors and Actuators A : Physical. 1996, 55, 7-11
• KIMURA, M. Sensors and Actuators B : Chemical. 1995, 24-25, 857-860

タイトルに関連する用語 (5件)： ダイオード ,  サーミスタ ,  マイクロヒータ ,  湿度センサ ,  応用