SPA法によるALE成長機構の検討 (新技術事業団S)

文献

J-GLOBAL ID：200902117691319349 整理番号：97A0816448

Characterization of Chloride Atomic Layer Epitaxy by Surface Photo-Absorption Method.

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著者 (1件)：
資料名：
ページ： 52-62 発行年： 1993年
JST資料番号： N19972250 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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