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J-GLOBAL ID:200902118027812425   整理番号:97A0609001

高純度オゾン曝露及びUV照射を用いた超高純度鉄の表面清浄化の新しい方法

A New Method for Cleaning the Surface of Ultra High Purity Iron by High-Purity Ozone Exposure and UV Irradiation.
著者 (6件):
資料名:
巻: 38  号:ページ: 451-456  発行年: 1997年05月 
JST資料番号: G0668A  ISSN: 0916-1821  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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炭素を不純物として含有する超高純度鉄の表面相を清浄化する新し...
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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準シソーラス用語:
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その他の表面処理 
引用文献 (18件):
  • 1) S. Takaki and H. Kimura: Scripta Metall., 10 (1976), 701.
  • 2) M. Isshiki and K. Igaki: Trans. JIM, 18 (1976), 412.
  • 3) For instance, S. Suzuki, T. Kosaka, H. Inoue and Y. Waseda: Mater. Trans., JIM, 36 (1995), 1379.
  • 4) S. Harimaya: Tetsu-to-Hagané, 81 (1995), 10.
  • 5) For instance, H. Nonaka, S. Ichimura, T. Shimizu and K. Arai: Critical Reviews in Solid State and Materials, 20 (1995), 285.
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