超大規模集積デバイスの破壊分析用の光学ビーム誘起電流法

文献

J-GLOBAL ID：200902119440699463 整理番号：94A0622577

Optical Beam Induced Current Techniques for Failure Analysis of Very Large Scale Integrated Circuits Devices.

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巻： 33 号： 6A ページ： 3393-3401 発行年： 1994年06月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

光学ビーム誘起電流(OBIC)法を初めて用いて,コンプリメン...

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固体デバイス製造技術一般

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