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J-GLOBAL ID：200902119630150689   整理番号：99A0855652

標準の直接校正を行う実時間,干渉測定用原子間力顕微鏡

Real-time, interferometrically measuring atomic force microscope for direct calibration of standards.

著者 (8件)： GONDA S (National Res. Lab. Metrology, Tsukuba, JPN) ,  DOI T (National Res. Lab. Metrology, Tsukuba, JPN) ,  KUROSAWA T (National Res. Lab. Metrology, Tsukuba, JPN) ,  TANIMURA Y (National Res. Lab. Metrology, Tsukuba, JPN) ,  HISATA N (Olympus Optical Co., Ltd., Tokyo, JPN) ,  YAMAGISHI T (Olympus Optical Co., Ltd., Tokyo, JPN) ,  FUJIMOTO H (Olympus Optical Co., Ltd., Tokyo, JPN) ,  YUKAWA H (Olympus Optical Co., Ltd., Tokyo, JPN)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 70  号： 8  ページ： 3362-3368  発行年： 1999年08月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 変形したトポグラフィー像を実時間で補正する高分解能の3軸レー...

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,...

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分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： 標準 ,  校正 ,  実時間 ,  干渉測定 ,  原子間力顕微鏡