POSADOWSKI W M について
Technical Univ. Wroclaw, Wroclaw, POL について
RADZIMSKI Z J について
Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN について
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について
銅 について
自己スパッタリング について
金属薄膜 について
プラズマ応用 について
直流 について
マグネトロン について
自己 について
スパッタリング について