KIM Y-C について
Chung-Ang Univ., Seoul, KOR について
KIM C-I について
Chung-Ang Univ., Seoul, KOR について
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について
酸化イットリウム について
FRAM について
プラズマ応用 について
固体デバイス製造技術一般 について
Ar について
プラズマ について
Y2O3 について
薄膜 について
エッチング について