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J-GLOBAL ID：200902120929903584   整理番号：97A1019182

有機金属気相蒸着法によるPt/MgO基板上へのジルコンチタン酸鉛膜のエピタキシャル成長とその特性

Preparation and Characterization of Epitaxial Lead Zirconate Titanate Films on Pt/MgO Substrates by Metalorganic Chemical Vapor Deposition.

著者 (4件)： SAKURAI A (Murata Manufacturing Co., Ltd., Shiga, JPN) ,  SHIRATSUYU K (Murata Manufacturing Co., Ltd., Shiga, JPN) ,  TAKAGI H (Murata Manufacturing Co., Ltd., Shiga, JPN) ,  SAKABE Y (Murata Manufacturing Co., Ltd., Shiga, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 36  号： 9B  ページ： 5812-5814  発行年： 1997年09月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Pt(100)/MgO(100)基板上に標記の成膜を行った。...

シソーラス用語： MOCVD ,...
準シソーラス用語： *PZT【鉛化合物】

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

引用文献 (4件)：

• 1) K. Amanuma, T. Hase and Y. Miyasaka: Jpn. J. Appl. Phys. 33 (1994) 5211
• 2) W. Zhang, K. Sasaki and T. Hata: Jpn. J. Appl. Phys. 35 (1996) 5084
• 3) M. Shimizu, M. Sugiyama H. Fujisawa and T. Shiosaki: Jpn. J. Appl. Phys. 33 (1994) 5167
• 4) Y. Takeshima, K. Shiratsuyu, H. Takagi and Y. Sakabe: Jpn. J. Appl. Phys. 34 (1995) 5083

タイトルに関連する用語 (7件)： 有機金属 ,  気相蒸着 ,  Pt ,  MgO ,  ジルコン ,  チタン酸鉛 ,  エピタキシャル成長