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J-GLOBAL ID:200902120934106315   整理番号:93A0568263

GaAs:Cr基板内の電気活性欠陥のクラスタに及ぼす気相エピタクシー工程の影響

Influence of the process of vapor phase epitaxy on clusters of electrically active defects in GaAs:Cr substrates.
著者 (5件):
資料名:
巻: 27  号:ページ: 104-105  発行年: 1993年01月 
JST資料番号: T0093A  ISSN: 1063-7826  CODEN: SMICES  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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分類 (1件):
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半導体の格子欠陥 

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