イオンビーム促進蒸着により堆積した酸化チタン薄膜中の柱状微細構造の成長機構

TANG Q; KIKUCHI K; OGURA S; MACLEOD A

文献

J-GLOBAL ID：200902121018161536 整理番号：00A0086151

イオンビーム促進蒸着により堆積した酸化チタン薄膜中の柱状微細構造の成長機構

Mechanism of columnar microstructure growth in titanium oxide thin films deposited by ion-beam assisted deposition.

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=00A0086151&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=00A0086151&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0789B") }}

著者 (4件)： , , ,
資料名：
巻： 17 号： 6 ページ： 3379-3384 発行年： 1999年11月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

標記方法で堆積した酸化チタン薄膜の微細構造と光学定数への種々...

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=00A0086151&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0789B") }}

酸化物薄膜 , 光物性一般

, , , , , ,

前のページに戻る