機械的共鳴法による膜と基板のYoung率測定

LEE Y H; SHIN Y D; LEE K H; RHEE J R

文献

J-GLOBAL ID：200902121322353131 整理番号：94A0580407

機械的共鳴法による膜と基板のYoung率測定

Measurement of Young’s moduli for film and substrate by the mechanical resonance method.

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資料名：
巻： 75 号： 10 Pt 2A ページ： 5913-5915 発行年： 1994年05月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

膜がある時と無い時のカンチレバー式基板の曲げ振動モードの共鳴...

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金属の機械的性質

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