InGaAsP/InP構造の面内厚み制御を行うシリコンシャドウマスクMOVPE

文献

J-GLOBAL ID：200902121409026951 整理番号：97A0282435

Silicon shadow mask MOVPE for in-plane thickness control of InGaAsP/InP structures.

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資料名：
巻： 170 号： 1/4 ページ： 661-664 発行年： 1997年01月
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

新しいエピタキシャル成長技術を提案した。この手法では,膜厚に...

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半導体薄膜

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