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J-GLOBAL ID：200902121433329116   整理番号：97A0721939

CF4の化学作用によるSAWデバイスの生産トリミングとSAW特性に及ぼす影響

Production Trimming of SAW Devices Using CF4 Chemistry and its Effects on SAW Characteristics.
著者 (3件)：
SUBRAMANIAN R

SUBRAMANIAN R について

(RF Monolithics, Inc., TX)

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WELTER J

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(RF Monolithics, Inc., TX)

RF Monolithics, Inc., TX について

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WRIGHT P V

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(RF Monolithics, Inc., TX)

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資料名：
Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium  (Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium)

Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium について


巻： 1996  号： Vol.1  ページ： 255-260  発行年： 1996年 
JST資料番号： A0437C  ISSN： 1051-0117  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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弾性表面波素子

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SAW共振子

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分類 (1件)：
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弾性表面波デバイス 
(NC03120T)

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トリミング

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SAW

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