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J-GLOBAL ID：200902121768978704   整理番号：99A0328065

配向性立方晶窒化ほう素薄膜の成長に対するその場集合組織の監視

In situ texture monitoring for growth of oriented cubic boron nitride films.

著者 (2件)： LITVINOV D (Univ. Michigan, Michigan) ,  CLARKE R (Univ. Michigan, Michigan)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 74  号： 7  ページ： 955-957  発行年： 1999年02月15日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： けい素(100)基板に減少したバイアス電圧でイオン支援マグネ...

シソーラス用語： *窒化ホウ素 ,...

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分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 配向性 ,  立方晶窒化ほう素 ,  薄膜 ,  成長 ,  集合組織