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J-GLOBAL ID：200902122029035075   整理番号：01A0793112

CH₄/H₂プラズマ中での熱フィラメント支援dcプラズマ化学蒸着によるニッケル上の十分整列したカーボンナノチューブの成長

Growth of well-aligned carbon nanotubes on nickel by hot-filament-assisted dc plasma chemical vapor deposition in a CH₄/H₂ plasma.

著者 (3件)： HAYASHI Y (Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN) ,  NEGISHI T (Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN) ,  NISHINO S (Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 19  号： 4,Pt.2  ページ： 1796-1799  発行年： 2001年07月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 十分に整列したカーボンナノチューブをCH<sub>4</su...

シソーラス用語： *ナノチューブ ,...

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分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (9件)： H2 ,  プラズマ ,  支援 ,  DCプラズマ ,  化学蒸着 ,  ニッケル ,  整列 ,  カーボンナノチューブ ,  成長