有機金属化学蒸着による均一なPb(Zr,Ti)O<sub>3</sub>超薄膜と電気特性

文献

J-GLOBAL ID：200902122473265273 整理番号：94A0896884

有機金属化学蒸着による均一なPb(Zr,Ti)O₃超薄膜と電気特性

Uniform Ultra-Thin Pb(Zr,Ti)O₃ Films Formed by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition and Their Electrical Characteristics.

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=94A0896884&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=94A0896884&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}

著者 (2件)： ,
資料名：
巻： 33 号： 9B ページ： 5143-5146 発行年： 1994年09月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

熱酸化Si基板にスパッタ蒸着したPt膜上に標記のPZT薄膜を...

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=94A0896884&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}

酸化物薄膜 , 強誘電体,反強誘電体,強弾性 , 記憶装置

, , , , , ,

前のページに戻る