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J-GLOBAL ID：200902122729749516   整理番号：99A0999504

感光性溶液から自己パターン化したPbZr_xTi_1-xO₃薄膜の評価

Evaluation of Self-Patterned PbZr_xTi_1-xO₃ Thin Film from Photosensitive Solution.

著者 (6件)： UOZUMI G (Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN) ,  KAGEYAMA K (Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN) ,  ATSUKI T (Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN) ,  SOYAMA N (Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN) ,  UCHIDA H (Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN) ,  OGI K (Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 38  号： 9B  ページ： 5350-5353  発行年： 1999年09月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Pt/Ti/SiO₂/Si基板上に微細...

シソーラス用語： *強誘電体 ,...
準シソーラス用語： *PZT【鉛化合物】

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分類 (2件)： 強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (2件)： メトキシエタノール ,  イソプロピルアルコール

引用文献 (8件)：

• 1) G. E. Menk, S. B. Desu, W. Pan and D. P. Vijay: Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 433 (1996) 189.
• 2) K. Ishihara, T. Ishikawa, K. Hamada, S. Onishi, J. Kudo and K. Sakiyama: Integr. Ferroelectr. 6 (1995) 301.
• 3) H. Uchida, N. Soyama, K. Kageyama, K. Ogi, M. C. Scott, J. D. Cuchiaro, G. F. Derbenwick, L. D. Mcmillan and C. A. Paz de Araujo: Integr. Ferroelectr. 16 (1997) 41.
• 4) N. Soyama, H. Uchida, K. Kageyama, K. Ogi, M. C. Scott, J. D. Cuchiaro, G. F. Derbenwick, L. D. Mcmillan and C. A. Paz de Araujo: Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 433 (1996) 91.
• 5) Y. Nakao, T. Nakamura, K. Hoshiba, K. Sameshima, A. Kamisawa, K. Abe, N. Soyama and K. Ogi: Jpn. J. Appl. Phys. 32 (1993) 4141.

タイトルに関連する用語 (6件)： 感光性 ,  溶液 ,  自己 ,  パターン化 ,  薄膜 ,  評価