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J-GLOBAL ID:200902122747489394   整理番号:98A0446706

ULSIのメタライゼーションに使うナノポーラスSiO2ベースエーロゲル薄膜の生成

Fabrication of SiO2 Based Nanoporous Aerogel Thin Films for Advanced IC Metallization.
著者 (4件):
資料名:
ページ: 347-351  発行年: 1998年 
JST資料番号: K19980242  ISBN: 1-55899-412-2  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ULSIの相互接続における遅延時間を改善する手段として,低誘...
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス製造技術一般  ,  誘電体一般 

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