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J-GLOBAL ID：200902122929131657   整理番号：98A0177095

金属-絶縁体-金属素子の電流-電圧特性の対称性に及ぼす水素処理陽極酸化層利用の効果

Effect of Utilizing Hydrogen-Treated Tantalum Anodized Oxidation on Symmetry of Current-Voltage Characteristic of Metal-Insulator-Metal Element.

著者 (5件)： LIU H (Changchun Inst. Physics, Acad. Sinica, Changchun, CHN) ,  WU Y (Changchun Inst. Physics, Acad. Sinica, Changchun, CHN) ,  YUAN J (Changchun Inst. Physics, Acad. Sinica, Changchun, CHN) ,  MA K (Changchun Inst. Physics, Acad. Sinica, Changchun, CHN) ,  HUANG X (Changchun Inst. Physics, Acad. Sinica, Changchun, CHN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 36  号： 12A  ページ： 7334-7336  発行年： 1997年12月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 水素中で熱処理した酸化タンタル絶縁体を含むMIM構造では,電...

シソーラス用語： *MIM構造 ,...
準シソーラス用語： 陽極酸化

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分類 (2件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  金属-絶縁体-金属構造  (BM03087F)

引用文献 (5件)：

• MORITA, H. Tech.Dig.Japan-Korea Joint Symp.Information Display. 1991, 107
• MORITA, H. Proc.10th Int.Display Research Conf., Amsterdam, 1990. 1992, 200
• HIRAI, T. Japan Display'92. 1992, 229
• MATSUMOTO, H. Jpn.J.Appl.Phys. 1980, 19, 71
• LIU, H. W. Proc.SPIE. 1996, 2892, 107

タイトルに関連する用語 (6件)： 金属-絶縁体-金属素子 ,  電圧特性 ,  対称性 ,  水素処理 ,  陽極 ,  酸化層