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J-GLOBAL ID：200902123101264757   整理番号：02A0625624

二層PZTバイモルフ梁により作動させた1D及び2Dマイクロスキャナーの設計及び作製

Design and Fabrication of 1D and 2D Micro Scanners Actuated by Double Layered Lead Zirconate Titanate (PZT) Bimorph Beams.

著者 (5件)： TSAUR J (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN) ,  ZHANG L (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN) ,  MAEDA R (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN) ,  MATSUMOTO S (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN) ,  KHUMPUANG S (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 41  号： 6B  ページ： 4321-4326  発行年： 2002年06月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 1Dスキャナー梁と2D走査マイクロミラーを有するマイクロスキ...

シソーラス用語： *光走査 ,...
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】

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分類 (3件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  その他の光学機器  (QF05060C) ,  制御機器一般  (IC02010N)

引用文献 (14件)：

• 1) M.-H. Kiang, O. Solgaard and R. S. Muller: IEEE J. Microelectromech. Syst. 7 (1998) 27.
• 2) S. Schweizer, S. Calmes, M. Laudon and Ph. Renand: J. Sensors & Actuat. 76 (1999) 470.
• 3) H. Toshiyoshi, D. Miyauchi and H. Fujita: IEEE J. Quantum Electron. 5 (1999) 10.
• 4) A. Schroth, C. Lee, S. Matsumoto and R. Maeda: J. Sensors & Actuat. 73 (1999) 144.
• 5) T. Gessner, S. Kurth, C. Kaufmann, J. Markert, A. Ehrlich and W. Dotzel: Proc. SPIE 4178 (2000) 338.

タイトルに関連する用語 (9件)： 二層 ,  PZT ,  バイモルフ ,  梁 ,  1D ,  2D ,  スキャナー ,  設計 ,  作製