粗さを減少させた超低損失Si/SiO<sub>2</sub>導波路の製作

LEE K K; LIM D R; KIMERLING L C; SHIN J; CERRINA F

文献

J-GLOBAL ID：200902123187086821 整理番号：02A0073374

粗さを減少させた超低損失Si/SiO₂導波路の製作

Fabrication of ultralow-loss Si/SiO₂ waveguides by roughness reduction.

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巻： 26 号： 23 ページ： 1888-1890 発行年： 2001年12月01日
JST資料番号： H0690A ISSN： 0146-9592 CODEN： OPLEDP 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

サブミクロンの断面積を持つ単一モードストライプ状のSi/Si...

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光導波路,光ファイバ,繊維光学

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粗さを減少させた超低損失Si/SiO2導波路の製作

粗さを減少させた超低損失Si/SiO₂導波路の製作