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J-GLOBAL ID：200902123552652262   整理番号：00A0743008

非平衡プラズマと微細加工のモデリング モデリングおよび基礎理論・基礎計測における最近の進展

資料名： 電気学会技術報告
号： 790  ページ： 1-99  発行年： 2000年05月30日 
JST資料番号： S0378A  ISSN： 0919-9195  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 非平衡プラズマの二次元シミュレーション技法や,プラズマと表面...

シソーラス用語： *プラズマエッチング ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 非平衡プラズマ ,  微細加工 ,  モデリング ,  基礎 ,  理論 ,  計測 ,  進展