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J-GLOBAL ID：200902123682151923   整理番号：93A0614806

準大気圧化学蒸着した酸化物膜特性のオゾン/テトラエチルオルトシリカート比への依存性

Dependence of Film Properties of Subatmospheric Pressure Chemical Vapor Deposited Oxide on Ozone-to-Tetraethylorthosilicate Ratio.

著者 (4件)： HUANG J (Applied Materials, Inc., California) ,  KWOK K (Applied Materials, Inc., California) ,  WITTY D (Applied Materials, Inc., California) ,  DONOHOE K (Applied Materials, Inc., California)
資料名： Journal of the Electrochemical Society  (Journal of the Electrochemical Society)
巻： 140  号： 6  ページ： 1682-1686  発行年： 1993年06月 
JST資料番号： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 準大気圧化学蒸着法で析出させた(SACVD)テトラエチルオル...

シソーラス用語： 超小形回路技術 ,...
準シソーラス用語： けい酸エステル

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 大気圧化学蒸着 ,  酸化物 ,  膜特性 ,  オゾン ,  テトラエチルオルトシリカート ,  依存性