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J-GLOBAL ID：200902123684000507   整理番号：97A0953888

X線吸収とX線光電子分光で調べた窒化チタンと窒化クロム膜の表面酸化の比較

Comparison of surface oxidation of titanium nitride and chromium nitride films studied by x-ray absorption and photoelectron spectroscopy.

著者 (9件)： ESAKA F (Sci. Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  FURUYA K (Sci. Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  SHIMADA H (National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN) ,  IMAMURA M (National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN) ,  MATSUBAYASHI N (National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN) ,  SATO H (National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN) ,  NISHIJIMA A (National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN) ,  KAWANA A (Sumitomo Metal Mining Co. Ltd., Chiba, JPN) ,  ICHIMURA H (Sumitomo Metal Mining Co. Ltd., Chiba, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 15  号： 5  ページ： 2521-2528  発行年： 1997年09月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： TiN,CrN膜の表面酸化機構をXASとXPSとで調べた。い...

シソーラス用語： クロム化合物 ,...

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  その他の無触媒反応  (CB06070U)

タイトルに関連する用語 (5件)： X線吸収 ,  X線光電子分光 ,  窒化チタン ,  窒化クロム ,  表面酸化