文献

J-GLOBAL ID：200902123687735109   整理番号：01A0627499

ナノ押込圧子により測定した薄膜の機械的性質

Mechanical properties of thin films measured by nanoindenters.

著者 (3件)： ISHIKAWA H (Machinery and Metallurgy Res. Inst. Chiba Prefecture, Chiba, JPN) ,  FUDETANI S (Chiba Univ., Chiba, JPN) ,  HIROHASHI M (Chiba Univ., Chiba, JPN)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 178  号： 1/4  ページ： 56-62  発行年： 2001年07月02日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 正確なナノ押込みと高分解能表面撮像を行い,ナノ押込圧子で得た...

シソーラス用語： *押込硬さ ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=01A0627499&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=B0707B") }}

分類 (3件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (4件)： ナノ押込 ,  圧子 ,  薄膜 ,  機械的性質