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J-GLOBAL ID：200902123707197605   整理番号：94A0851320

プラズマCVD法で作製したYSZ薄膜

Research on YSZ thin films prepared by plasma-CVD process.
著者 (5件)：
CAO C-B

CAO C-B について

(Fudan Univ., Shanghai, CHN)

Fudan Univ., Shanghai, CHN について

, 
WANG J-T

WANG J-T について

(Fudan Univ., Shanghai, CHN)

Fudan Univ., Shanghai, CHN について

, 
YU W-J

YU W-J について

(Univ. Science and Technology of China, Hefei, CHN)

Univ. Science and Technology of China, Hefei, CHN について

, 
PENG D-K

PENG D-K について

(Univ. Science and Technology of China, Hefei, CHN)

Univ. Science and Technology of China, Hefei, CHN について

, 
MENG G-Y

MENG G-Y について

(Univ. Science and Technology of China, Hefei, CHN)

Univ. Science and Technology of China, Hefei, CHN について


資料名：
Thin Solid Films  (Thin Solid Films)

Thin Solid Films について


巻： 249  号： 2  ページ： 163-167  発行年： 1994年09月15日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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β-ジケトンキレートを用いたマイクロ波プラズマCVDで低温(...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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プラズマCVD

プラズマCVD について

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シソーラス用語/準シソーラス用語
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YSZ【セラミック】

YSZ【セラミック】 について

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分類 (1件)：
分類
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酸化物薄膜 
(BK14050P)

酸化物薄膜 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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プラズマCVD法

プラズマCVD法 について

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作製

作製 について

, 
YSZ

YSZ について

, 
薄膜

薄膜 について


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