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J-GLOBAL ID：200902124202428714   整理番号：00A0304857

反射角の変化と位相シフト法を用いた空間分解能の高い形状誤差測定法

A Shape Error Measurement with High Spatial Resolution Using the Change in the Reflected Angles and the Phase Shift Method.

著者 (5件)： 野村俊 (富山県大 工) ,  神谷和秀 (富山県大 工) ,  LI Y (大連理工大) ,  田代発造 (富山大 工) ,  吉川和男 (富山大 工)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 66  号： 3  ページ： 446-450  発行年： 2000年03月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 被検ミラーからの反射光と設計上のミラーからの反射光との角度の...

シソーラス用語： 反射鏡 ,...

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分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  その他の光学的測定法とその装置  (BD07080R)

引用文献 (8件)：

• HARIHARAN, P. Basics of Interferometry. 1991, 1
• 山本将之. 格子パターン投影法を用いた反射物体の表面形状計測. 精密工学会誌. 1998, 64, 7, 1171
• 山本将之. 格子パターン投影法を用いた反射物体の表面形状計測(第2報)-楕円面鏡の計測-. 精密工学会誌. 1999, 65, 8, 1111
• MALACARA, D. Optical Shop Testing. 1992, 265
• 河野嗣男. ハルトマンテストによるオンマシンインプロセス計測. O plus E. 1999, 21, 4, 393

タイトルに関連する用語 (5件)： 反射角 ,  位相シフト ,  空間分解能 ,  形状誤差 ,  測定法