文献
J-GLOBAL ID:200902124412104580   整理番号:95A0103726

Anelastic and elastic behaviors of sputtered tantalum films on aluminum.

著者 (3件):
資料名:
巻:ページ: 27-30  発行年: 1993年 
JST資料番号: W0624A  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)

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