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J-GLOBAL ID：200902125280261598   整理番号：96A0069008

超精密位置決めのための最新技術 アンケート調査に見る超精密位置決め技術に関する現状と期待

The Latest Technique of Ultraprecision Positioning. Present Condition and Exoectation for Ultra-precise Positioning Techniaues from a Questionnaire.

著者 (2件)： 清水茂夫 (明治大 理工) ,  坂戸啓一郎 (ニコン)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 61  号： 12  ページ： 1650-1655  発行年： 1995年12月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 1994年の実施した第3回超精密位置決めアンケート調査結果に...

シソーラス用語： ナノメータ加工 ,...

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分類 (1件)： 電気式制御機器  (IC02020Y)

引用文献 (2件)：

• 井澤寛. 精密および超精密位置決め技術の現状. 精密工学会誌. 1991, 57,10, 1707
• 清水茂夫. 超精密位置決めアンケ-ト報告書. 1995

タイトルに関連する用語 (4件)： 精密位置決め ,  アンケート調査 ,  現状 ,  期待