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J-GLOBAL ID：200902125529168038   整理番号：96A0334837

レビユー 粒子状汚染物質の超音波およびメガ音波による除去

Removal of particulate contaminants using ultrasonics and megasonics: a review.

著者 (2件)： GALE G W (IBM Microelectronics, Vermont, USA) ,  BUSNAINA A A (Clarkson Univ., New York, USA)
資料名： Particulate Science and Technology  (Particulate Science and Technology)
巻： 13  号： 3/4  ページ： 197-211  発行年： 1995年07月 
JST資料番号： D0645B  ISSN： 0272-6351  CODEN： PTCHDS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超音波を用いた粒子除去理論をレビユーした。キャビテーションと...

シソーラス用語： 粒子 ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の流体処理  (XD02130K)

タイトルに関連する用語 (2件)： 粒子状汚染物質 ,  音波