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J-GLOBAL ID：200902126099314210   整理番号：93A0664074

As注入拡散層中のFeの挙動

Influence of Fe in As implanted diffusion layer.

著者 (5件)： 十川政雄 (菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング) ,  神原恭子 (菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング) ,  高橋武人 (三菱電機 LSI研) ,  小河育夫 (三菱電機 LSI研) ,  日根史郎 (菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 40th  号： Pt 2  ページ： 627  発行年： 1993年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： 注入 ,  拡散層 ,  Fe ,  挙動